XPS（ESCA）の基礎と実践応用テクニック【LIVE配信】

セミナー趣旨

固体表面は、物質の内部と異なる化学組成や状態をもっていて、他の材料や環境との界面となる。このため、剥離や変色などの問題はもちろんのこと、電池材料・触媒・半導体・各種材料やデバイスで表面・界面を制御し理解することが商品開発のキーポイントとなる。さまざまな表面分析の中でも最も使用頻度の高い手法はXPS（ESCA）である。製造、品質保証や研究開発の現場においてXPSによる表面分析は重要である。ただし、表面数ナノメートルの分析をおこなうXPSでは、正しい測定手法の理解と、適切な分析運用が必須となる。本講座ではXPSの原理、試料作製と測定条件の設定方法、データ解析を適切におこなうためのノウハウを紹介し、応用例を用いてわかりやすく解説する。

受講対象・レベル

分析業務に携って1~3年の若手技術者や新人の方。

必要な予備知識

特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします。

習得できる知識

XPS（ESCA）分析の基礎、原理、特徴が理解できる。分析の進め方、データ解釈の注意点と最新の分析技術や問題解決事例が習得できる。

セミナープログラム

１．表面分析とは
 1-1．表面の重要性
 1-2．各種表面分析手法
 1-3．他の表面分析手法（AES、TOF-SIMS）との比較

２．XPS（ESCA）の原理と特徴
 2-1．装置の構成
 2-2．XPSの原理
 2-3．XPSスペクトルと化学シフト
 2-4．XPSが表面分析となる理由
 2-5．深さ方向分析
 2-6．イメージング分析
 2-7．その他の分析モード

３．XPSの試料作成と測定条件
 3-1．測定できる試料
 3-2．サンプリングの注意点
 3-3．粉末試料
 3-4．絶縁試料
 3-5．電池材料、および導電物と絶縁物の混在試料

４．測定
 4-1．ワイドスペクトル（サーベイスペクトル）
 4-2．ナロースペクトル
 4-3．微量成分の検出

５．データ処理
 5-1．ピークシフト
 5-2．定量計算
 5-3．定量範囲の決定
 5-4．化学状態の推定（カーブフィット）
 5-5．その他のデータ処理

６．最新の測定技術
 6-1．マイクロXPS分析
 6-2．ガスクラスターイオン銃による有機試料の深さ方向分析
 6-3．ガスクラスターイオン銃による無機試料の表面クリーニング
 6-4．高エネルギーXPS（HAXPES）
 6-5．UPS（紫外光電子分光）とLEIPS（逆光電子分光）
 6-6．その他のXPS測定技術

７．まとめ、質疑

キーワード
XPS,分析,測定技術,表面分析,研修,講習,セミナー

セミナー講師

アルバック・ファイ株式会社
テクニカルサポート室 専門部長
理学博士 眞田 則明 氏

【ご所属】
(一社)表面分析研究会　編集委員長

セミナー受講料

49,500円（税込、資料付）
■ セミナー主催者からの会員登録をしていただいた場合、1名で申込の場合46,200円、
　 2名同時申込の場合計49,500円（2人目無料：1名あたり24,750円）で受講できます。
　 備考欄に「会員登録希望」と希望の案内方法【メールまたは郵送】を記入ください。
（セミナーのお申し込みと同時に会員登録をさせていただきますので、
　  今回の受講料から会員価格を適用いたします。）
※ 会員登録とは
　 ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
　 すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。

受講について

• 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
• 「ミーティング用Zoomクライアント」をダウンロードするか、
  Zoom をダウンロードせず、Web ブラウザから参加するかの2種類がございます。
• お申込み後、受理のご連絡メールをさせていただきます。
  一部メールが通常セミナー形式（受講券、請求書、会場の地図）になっておりますが
  LIVE配信のみのセミナーです。
• お申込み後、接続テスト用のURL（https://zoom.us/test）から
  「ミーティングテストに参加」を押していただき動作確認をお願いします。
• 後日、別途視聴用のURLをメールにてご連絡申し上げます。
• セミナー開催日時の10分前に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
• セミナー資料はPDFを前日までには、お送りいたします。
• ご質問については、オープンにできるご質問をチャットにご記入ください。
  個別相談（他社に知られたくない）のご質問は後日メールにて講師と直接お願いします。
• タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
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