ALD技術の基礎を
最先端半導体デバイスの応用事例を用いて
徹底的に解説!

※本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。
 セミナー修了後、受講者のみご覧いただける期間限定のアーカイブ配信を予定しております。

セミナー趣旨

AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプレイ、太陽電池などのエレクトロニクスの分野で広く活用されてきた。本セミナーでは、近年、特に注目を浴びているALD(原子層堆積)技術について、その基礎と応用について概説する。特に、堆積の原理や材料について詳しく紹介する。また、LSI、薄膜トランジスタ、パワーデバイスに応用した時の特長や課題についても紹介する。

受講対象・レベル

初学者向け
これから、ALD技術の導入を検討している技術者にむけて、堆積原理と応用技術を概説する。

習得できる知識

・ALD技術の基礎
・薄膜形成、評価技術の基礎
・薄膜を使った半導体デバイスの動作原理

セミナープログラム

1.薄膜形成技術
  1.1 薄膜作製の基礎
  1.2 薄膜の評価手法
   1.2.1 電気的評価
   1.2.2 化学的分析手法
   1.2.3 光学的評価手法
2.ALD技術の基礎
  2.1 ALD技術の原理
  2.2 ALD薄膜の特長
  2.3 ALD技術の歴史
  2.4 ALD装置の仕組み
  2.5 ALD技術の材料
3.ALD技術の応用
  3.1 パワーデバイスへの応用
  3.2 酸化物薄膜トランジスへの応用
  3.3 MOS LSIへの応用
4.ALD技術の将来
  4.1 ALD技術の課題
  4.2 ALD技術の展望

キーワード:パワーエレクトロニクス,ALD,Atomic Layer Deposition,原子層

セミナー講師

奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究領域 
情報機能素子科学研究室 教授 博士(工学)浦岡 行治 氏

【専門】
半導体プロセス・デバイス
【活動】
応用物理学会フェロー
IEEEシニアー
AMFPD国際会議実行委員長
薄膜材料デバイス研究会組織委員

セミナー受講料

49,500円(税込、資料付)
■ セミナー主催者からの会員登録をしていただいた場合、1名で申込の場合46,200円、
  2名同時申込の場合計49,500円(2人目無料:1名あたり24,750円)で受講できます。
  備考欄に「会員登録希望」と希望の案内方法【メールまたは郵送】を記入ください。
(セミナーのお申し込みと同時に会員登録をさせていただきますので、
   今回の受講料から会員価格を適用いたします。)
※ 会員登録とは
  ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
  すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。

受講について

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • 「ミーティング用Zoomクライアント」をダウンロードするか、
    Zoom をダウンロードせず、Web ブラウザから参加するかの2種類がございます。
  • お申込み後、受理のご連絡メールをさせていただきます。
    一部メールが通常セミナー形式(受講券、請求書、会場の地図)になっておりますが
    LIVE配信のみのセミナーです。
  • お申込み後、接続テスト用のURL(https://zoom.us/test)から
    「ミーティングテストに参加」を押していただき動作確認をお願いします。
  • 後日、別途視聴用のURLをメールにてご連絡申し上げます。
  • セミナー開催日時の10分前に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料はPDFを前日までには、お送りいたします。
  • ご質問については、オープンにできるご質問をチャットにご記入ください。
    個別相談(他社に知られたくない)のご質問は後日メールにて講師と直接お願いします。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • 講義の録音、録画などの行為や、テキスト資料、講演データの
    権利者の許可なく複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。

※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

開催日時


12:30

受講料

49,500円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込

開催場所

全国

主催者

キーワード

薄膜、表面、界面技術   半導体技術

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49,500円(税込)/人

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全国

主催者

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薄膜、表面、界面技術   半導体技術

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