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抵抗率の基本的な測定方法について解説!
材料特性に合わせた手法の選び方、条件設定をわかりやすく、豊富な事例とともに解説!
セミナー趣旨
金属の電気抵抗は試料の長さに比例し、その断面積に反比例する。その時の比例定数が抵抗率と定義されている。従来はこの定義に則って、柱状の試料を作りその断面に対して一定電流を流し、別途作成した電圧電極間の電位勾配を測り、オームの法則から抵抗値を求めた。更に、上記の定義に基き抵抗率を算出していた (4端子法) 。
そもそも抵抗率の定義が導かれた時代には、測定対象試料 (=材料) は金属が中心で均一組成と考えられていた。しかし、現在では材料技術は飛躍的に進歩し、金属、プラスチック、セラミックスのみならず、それらを複合した材料 (バルク体) や薄膜材料が日々開発されている。特に、電子材料の分野では、スマートフォン等のモバイル端末の発展や自動車の電動化に伴い、リチウムイオン電池やプリンテッドエレクトロニクス材料等、急速な進歩を遂げている。
まず、研究開発者にとっては抵抗率を正しく測る事が重要であり、更にその次に各種材料の特性に合わせた測定方法やデータの解釈が必要となってきた。
本セミナーでは、基本的な測定方法について解説し、材料に合わせた応用例についても説明する。
セミナープログラム
1. 抵抗と抵抗率
2. 低抵抗領域の測定
3. テスターで測ると何故不安定なのか?
4. 4端子法と2端子法
5. 接触抵抗とは?
6. 4探針法とは?
7. 4探針法と4端子法の違い
8. シリコンウエハの抵抗率測定
9. 表面抵抗率と体積抵抗率の使い分け
10. 傷が付き易い試料の測り方
11. 低抵抗薄膜の抵抗率測定
12. 黒鉛バルク材の体積抵抗率測定
13. 高抵抗領域の測定
14. 2重リング法とは?
15. 表面抵抗率と体積抵抗率の測り方は違うのか?
16. JIS K6911とは?
17. ガード電極は必要か?
18. 温度や湿度で抵抗値が変わるのか?
19. 印加電圧や測定時間はどのように決めるのか?
20. 高抵抗薄膜の測定
21. 中間領域の試料は定電流印加法と定電圧印加法のどちらで測るか?
22. 粉体の抵抗はどうやって測るか?
23. フィルムの厚み方向の測定
24. 高温や低温下での低抵抗測定は?
【質疑応答】
セミナー講師
日東精工アナリテック(株) 営業推進部 西井 俊文 氏
セミナー受講料
1名につき 49,500円(税込、資料付)
〔1社2名以上同時申込の場合のみ1名につき44,000円〕
受講について
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