初心者向けセミナーです 【中止】薄膜の各種分析・評価技術の基礎・特徴からポイントまで~正しく分析を知ることで高効率化や新機能提案、トラブル対応へ活かす~

薄膜・界面評価技術の基本原理から得られる情報、
測定のポイント、スペクトル解析までを詳解!

電子や光物性の基礎から、IR/ラマン分光、X線回折法、XPSやSEM、AFMほか

セミナー趣旨

 本セミナーでは、薄膜材料評価に関わる電子・光物性の基盤的知識を学び、各種薄膜分析評価法を修得することを目的とする。
 物質と電子/光との相互作用(電子・光物性)を深く理解し、これを利用することで、優れた機能を持つ電子・光デバイスが開発されてきた。その中で、薄膜評価技術は、デバイスの高効率化・トラブルシューティング・新機能提案などにつながる重要な発見を助けてきた。表面改質など機械加工分野も併せれば、表面・界面の評価技術は、製造技術における課題発見の場面で重要視され、現在、産業界で広く用いられている。
 一方、表面・界面評価技術は手法が非常に多岐にわたるため、どの評価手法を選択すれば、現在直面している課題解決につながるのかを適切に選択することは難しく、外部解析に解析手法の提案も含め委託することが多いのではないかと思う。また、表面・界面評価技術の検出原理を知ることで、何を測ることができ、検出限界を知ることで何が測ることができないかを理解することは重要で、どの評価技術を選択すべきか決断する際に非常に重要となる。
 本セミナーでは、表面・界面のトラブルや改善、新機能提案を目指し、表面・界面の評価技術全般に関わる、電子物性・光物性の基礎物理を講義した後、これら基礎物理を利用した様々な表面・界面評価技術について、例示して解説する。

受講対象・レベル

・薄膜デバイス関連の研究開発をはじめたばかりの方から、このような方を指導する立場にある方まで
・解析業務に活かすため、薄膜評価法全般の知識をサーベイしたいと考えている方
・解析業務に携わっているが、より基盤的知識(電子物性、光物性)の重要性を認識し必要としている方
・解析手法を用いた、発表者を含めた応用研究事例について興味のある方

必要な予備知識

電子、光、波についての基礎知識。大学2年レベルの物理の知識(電磁気、量子力学の基礎)、必要な知識は補足説明します。

習得できる知識

・主に表面の関わる製造技術(薄膜プロセス、半導体プロセス、コーティング、表面改質)などの
 技術分野において、その評価技術を概観することが出来、表面に関わるトラブルシューティングでの、
 評価手段の選択が的確に提案できるようになる。
・様々な評価手段の基礎原理(光・電子物性・光物性)について、基礎知識が身につくことにより、
 表面評価手段により得られた評価結果を正しく判断することが出来るようになる。

セミナープログラム

1.電子物性基礎:物質の電気的性質
 1-1 電子の性質
 1-2 結晶構造
 1-3 バンド構造
 1-4 導体・半導体・絶縁体の電気的性質

2.光物性基礎:物質の光学的性質(透過・散乱・吸収)
 2-1 光の性質
 2-2 弾性散乱、非弾性散乱
 2-3 ブラッグ回折

3.薄膜・界面評価技術
 3-1 光学的評価法(UV/VIS分光、IR分光、ラマン分光、PL)
  a)装置の基本原理
  b)得られる情報
  c)前処理
  d)測定のポイント
  e)スペクトルの解析
 3-2 X線回折法(XRD)、X線反射率法(XRR)
  a)装置の基本原理
  b)得られる情報
  c)前処理
  d)測定のポイント
  e)スペクトルの解析
 3-3 X線光電子分光法(XPS、ESCA)
  a)装置の基本原理
  b)得られる情報
  c)前処理
  d)測定のポイント
  e)スペクトルの解析
 3-4 走査型電子顕微鏡(SEM、EDX)
  a)装置の基本原理
  b)得られる情報
  c)前処理
  d)測定のポイント
  e)スペクトルの解析
 3-5 プローブ顕微鏡(AFM、STM)
  a)装置の基本原理
  b)得られる情報
  c)前処理
  d)測定のポイント
  e)スペクトルの解析
 3-6 その他分析技術動向やナノテクノロジーへの展開事例紹介(発表者の研究紹介を含む)

<質疑応答・個別質問・講師との名刺交換>

■ご講演中のキーワード:

薄膜評価技術、表面界面、電子物性、光物性、透過、吸収、散乱、分光法、バンド理論、電子顕微鏡、プローブ顕微鏡(SPM)、カーボンナノチューブ、電界電子放出、メタマテリアル

セミナー講師

高知工科大学 システム工学群 電子光システム工学教室 教授 古田 寛 先生

■ご略歴:
平成8年4月 ~ 平成11年3月 大阪大学大学院理学研究科物理学専攻博士課程後期 修了(博士(理学)取得)
平成10年7月 ~ 平成11年3月 日本学術振興会 特別研究員DC2
平成11年4月 ~ 平成12年3月 日本学術振興会 特別研究員PD
平成12年6月 ~ 平成12年9月 株式会社イオン工学研究所 研究員
平成12年10月 ~ 平成13年3月 財団法人ファインセラミックスセンター研究員
平成13年4月 ~ 平成14年3月 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)
産業技術者養成事業養成技術者(NEDOフェロー)
平成14年4月 ~ 平成16年3月 株式会社ロデール・ニッタ 研究員
平成15年1月 ~ 平成19年12月 高知県産業技術センター高知県地域結集事業研究員(兼務)
平成16年4月 ~ 平成20年3月 高知工科大学 総合研究所 極限プロセスデザイン研究センター 講師
平成20年4月 ~ 平成22年12月 高知工科大学 ナノデバイス研究所 講師
平成23年1月 ~ 令和1年7月 高知工科大学 システム工学群 電子・光システム工学教室 准教授
平成25年10月 ~ 平成26年3月 高知工業高等専門学校 非常勤講師物理C(兼務)
令和1年8月 ~ 現在 高知工科大学 システム工学群 電子・光システム工学教室 教授
■ご専門および得意な分野・研究:
薄膜評価技術、薄膜プロセス技術、材料工学、電子デバイス、光デバイス、カーボンナノチューブ、メタマテリアル
■本テーマ関連学協会でのご活動:
・応用物理学会中国四国支部幹事

セミナー受講料

1名47,300円(税込(消費税10%)、資料付)
 *1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円
 *学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。


※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

開催日時


10:30

受講料

47,300円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込、コンビニ払い

開催場所

東京都

MAP

【品川区】きゅりあん

【JR・東急・りんかい線】大井町駅

主催者

キーワード

薄膜、表面、界面技術   分析・環境化学

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10:30

受講料

47,300円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込、コンビニ払い

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キーワード

薄膜、表面、界面技術   分析・環境化学

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