≪画像処理・AI技術≫外観検査・自動化の基礎とシステム最適化の考え方、欠陥分布解析によるデータ活用法、検知性能の改善、応用例【テレワーク対応・WEBセミナー】

外観検査装置の仕組みを理解し、
いかに外観不良を検知する性能を上げるか
第一線で活躍する専門家2名に平易に解説予定!  

【第1部】
外観検査自動化の基礎知識(装置の仕組み等)の解説に始まり、
課題解決に使われる画像処理・AI技術の活用法、方法論について、事例を交えて解説!

【第2部】
半導体ウエハの外観検査事例を交え、信頼性の高い外観検査と検査結果から得られる
不具合要因抽出後のデータ活用法(比較検査)まで言及!

セミナープログラム

【13:00-14:30】
第1部 画像処理・AI 技術を応用した外観検査・目視検査の基礎と自動化の留意点

中京大学 青木 公也 氏

【キーワード】
1. 外観検査自動化
2. AI技術
3. 画像検査

【講演主旨】
 外観検査を自動化する場合、一般的には、対象ワークや検査項目に応じて、一品一様で既存の画像処理コマンドの組み合わせとパラメータ調整を行う。しかし近年、融通性の高いシステムへの要望が高まり、より汎用性の高い画像処理手法や、AI技術の活用が期待されている。
 本講座では、産学共同研究における事例を通じて、実問題の解決に画像処理・AI技術をいかに活用するか、その方法論を解説する。 

【プログラム】
1.画像処理・AI技術による外観検査の自動化とは
 1.1 外観検査自動化における画像処理とは?
 1.2 外観検査自動化におけるAI技術とは?

2.検査画像処理の研究開発事例
 2.1 深層学習による欠陥領域の検出
 2.2 進化的計算による画像検査ソフトの自動生成
 2.3 学習レス・汎用的欠陥検出手法「KIZKI」処理

3.まとめ
 3.1 画像検査工学
 3.2 今後の展望

【質疑応答】


【14:40-16:00】
第2部 半導体ウェハの外観検査技術とデータ活用

(株)日立製作所 渋谷 久恵 氏

【キーワード】
1. 比較検査
2. 欠陥分類
3. 欠陥分布解析

【講演趣旨】
半導体ウェハの外観検査は、良・不良の識別のみならず、製造装置やプロセス状態の異常をいち早く検知し原因を解明するモニタリングの役割も担っている。そのためには、信頼性の高い外観検査技術と検査結果から不具合の原因解明に有効な情報を抽出するデータ活用技術が重要である。本講演では、撮像と画像処理からなる外観検査技術と欠陥分類技術、ウェハ上の欠陥分布解析技術を紹介する。近年は、IT技術の進展と品質・コストへの厳しい要求を背景に、他業種への技術展開の可能性もあると考えている。

【プログラム】
1.はじめに
 1-1 半導体とは
 1-2 外観検査の役割

2.画像撮像技術
 2-1 暗視野光学式検査
 2-2 明視野光学式検査

3.画像処理による欠陥検出技術
 3-1 比較検査の課題
 3-2 サブピクセル照合技術
 3-3 散布図分解に基づく明るさ補正技術

4.欠陥分類技術
 4-1 自動欠陥分類システム
 4-2 決定木による欠陥分類

5.欠陥分布識別技術
 5-1 欠陥分布識別技術
 5-2 局所密集欠陥識別
 5-3 環状・塊状分布欠陥識別
 5-4 線状分布欠陥識別
 5-5 円弧状分布欠陥識別

6.問題工程特定技術
 6-1 問題工程特定システム
 6-2 共通経路解析
 6-3 分布照合アルゴリズム

7.まとめ

【質疑応答】

セミナー講師

第1部:中京大学 工学部 機械システム工学科 教授 博士(工学)青木 公也 氏

【ご経歴】
 2000年 慶應義塾大学 理工学研究科 後期博士課程 修了。
 豊橋技術科学大学助手を経て、中京大学工学部教授。
 画像処理の産業応用等の研究に従事。
【ご専門】
  画像処理、マシンビジョン、ロボットビジョン
【ご活動】
 日本非破壊検査協会 製造工程検査部門 運営委員
 精密工学会 画像応用技術専門委員会 運営委員
 画像センシング研究会 組織委員
【所属学会】
  精密工学会、日本非破壊検査協会、電子情報通信学会、日本機械学会

第2部:(株)日立製作所 研究開発グループ 生産イノベーションセンタ
    生産システム研究部 主任研究員 博士(情報科学)渋谷 久恵 氏

セミナー受講料

【1名】41,800円(税込、資料代を含む)
※2名目以降は1名につき11,000円(税込、資料代を含む)

※ 当講座では、同一部署、申込者のご紹介があれば、何名でもお1人につき11,000円で追加申し込みいただけます。(申込者は正規料金、お二人目以降は11,000円となります)。追加の際は、申し込まれる方が追加の方を取り纏めいただくか、申込時期が異なる場合は紹介者のお名前を備考欄にお書きくださいますよう、お願いいたします。


※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

開催日時


13:00

受講料

41,800円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込

開催場所

全国

主催者

キーワード

品質マネジメント総合   AI(人工知能)   半導体技術

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41,800円(税込)/人

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品質マネジメント総合   AI(人工知能)   半導体技術

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