薄膜作製の基礎とトラブル対策【LIVE配信】

セミナー趣旨

　スパッタ法や真空蒸着法、化学気相成長（CVD）法は、先端材料研究をはじめ、電子デバイス、太陽電池、建材、さらには食品産業まで、さまざまな分野で使用されており、今や我々の生活と切っても切り離せない技術になっています。エレクトロニクスや真空技術の進歩により、現在では高性能な成膜装置が市販されていますが、これらを使いこなすには適切な知識が必要です。たとえば、新たな条件で成膜を行おうとすると、所望の薄膜を得るために条件出しを行わなければなりません。また、成膜プロセスでトラブルが発生すると、その対処に頭を悩ませることになります。そのようなときに必要になるのが、成膜技術に関する基本的かつ系統的な知識です。
　本講座では、真空蒸着法やスパッタ法、CVD法などを用いた成膜技術に携わる方々を対象に、これらの技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。

受講対象・レベル

・薄膜作製に関連する研究・開発・製造業務にたずさわって2～3年の若手技術者や新人の方
・薄膜作製に関してある程度の経験はあるが、自分の知識を系統的に整理したい方

必要な予備知識

高等学校程度の物理、化学および数学の知識。できるだけ初学者の方でも理解できるよう、数式等の使用は最小限にして解説します

習得できる知識

・成膜プロセス設計に必要な基礎知識
・成膜プロセスで発生したトラブル対応に必要な基礎知識

セミナープログラム

１．成膜技術に必要な真空・表面物性工学
　1-1.　気体分子運動論の基礎
　1-2.　真空工学の基礎
　1-3.　表面物性工学の基礎

２．真空蒸着法
　2-1.　真空蒸着法の原理
　2-2.　真空蒸着法の種類と装置例
　2-3.　真空蒸着法で作製される薄膜の例
　2-4.　真空蒸着法を適用する際の留意事項

３．スパッタ法
　3-1.　スパッタ法の原理　 
　3-2.　スパッタ法の種類と装置例
　3-3.　スパッタ法で作製される薄膜の例
　3-4.　スパッタ法を適用する際の留意事項

４．化学気相成長（CVD）法
　4-1.　CVD法の原理　 
　4-2.　CVD法の種類と装置例
　4-3.　CVD法で作製されるさまざまな薄膜の例
　4-4.　CVD法を適用する際の留意事項

５．薄膜評価法
　5-1　表面モルフォロジ、ステップカバレッジ
　5-2　膜組成、膜構造
　5-3　付着力、膜応力
　5-4　電気的特性、光学的特性

６．成膜プロセスで遭遇するトラブル例と対処法
　6-1　膜質に関するトラブル
　6-2　装置に関するトラブル

キーワード
薄膜,成膜,蒸着,スパッタ,CVD,評価,セミナー,研修,講習

セミナー講師

三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 准教授 博士（工学）　佐藤 英樹 氏

【専門】
　薄膜・表面物性工学、ナノ材料工学
【略歴】
　1996〜2000　アネルバ（株）（現 キヤノンアネルバ）　半導体装置事業部　技術担当
　上記期間中、量産用スパッタリング装置、プラズマCVD装置およびMOCVD装置の開発業務に従事
　2000〜2007　三重大学　大学院工学研究科　電気電子工学専攻　助手
　2007〜現在　同　准教授
　2002〜2003　米国ノースカロライナ大学チャペルヒル校　客員研究員
　上記期間中、各種成膜法を使用したナノカーボン材料の合成およびその応用に関する研究に従事
【所属学会】
　応用物理学会、日本真空学会、日本表面科学会、フラーレン・ナノチューブ・グラフェン学会　会員

セミナー受講料

55,000円（税込、資料付）
■ セミナー主催者からの会員登録をしていただいた場合、1名で申込の場合49,500円、
　 2名同時申込の場合計55,000円（2人目無料：1名あたり27,500円）で受講できます。
　 備考欄に「会員登録希望」と希望の案内方法【メールまたは郵送】を記入ください。
（セミナーのお申し込みと同時に会員登録をさせていただきますので、
　  今回の受講料から会員価格を適用いたします。）
※ 会員登録とは
　 ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
　 すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。

受講について

・本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
・「ミーティング用Zoomクライアント」をダウンロードするか、ZOOM を
　 ダウンロードせず、Web ブラウザから参加するかの2種類がございます。

・お申込み後、受理のご連絡メールをさせていただきます。
　一部メールが通常セミナー形式（受講券、請求書、会場の地図）になっておりますが
　LIVE配信のみのセミナーです。
・お申込み後、接続テスト用のURL（https://zoom.us/test）から
「ミーティングテストに参加」を押していただき動作確認をお願いします。
・後日、別途視聴用のURLをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー開催日時の10分前に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
・セミナー資料は郵送にて前日までには、お送りいたします。電子媒体での配布はございません。
　ご自宅への送付を希望の方はコメント欄にご住所などをご記入ください。
・ご質問については、オープンにできるご質問をチャットにご記入ください。
　個別相談（他社に知られたくない）のご質問は後日メールにて講師と直接お願いします。
・タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。

講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの
複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。