塗膜・レジスト膜の乾燥・付着技術とトラブル対策

商品説明

近年、塗膜およびコーティングの高機能化と高品位化に伴い、細部にわたるプロセス制御が求められている。コーティングとは、塗液を液膜へと拡張し、溶剤を乾燥し固着させるプロセスと定義されるが、材料科学では、大きいエネルギー変化を伴う現象として理解できる。よって、プロセスの高精度化には、熱力学や流れ解析、および応力解析などの基礎技術の適用が不可欠である。本書では、濡れの基礎理論から始まり、表面処理、乾燥、加工技術、デバイス応用技術、膜質評価などのコーティングに関する内容について広範囲に概説する。また、各種トラブルの解析手法や事例を多く盛り込んでいる。本書内に掲載した実験データ等の多くは著者が取得した内容であり、測定手法およびノウハウを含めて記載している。日々の開発製造現場における基礎として、本書の内容を役立てていただければ幸いである。

　◆濡　れ◆
◎表面エネルギーの制御・応用
◎コーティング基材などの平面での液滴の濡れ挙動
◎表面処理による分散と極性成分の制御
◎コーティング膜の安定性コントロールとシランカップリング処理の有効性
◎濡れトラブルの原因・対策
◎塗工液／基板との界面相互作用と濡れコントロール。
◎表面エネルギーの分散および極性成分を実験的に求める手法

　◆乾　燥◆
◎塗膜の乾燥メカニズムと制御
◎バランスの取れた乾燥プロセス選択するために！
◎塗膜の乾燥プロセス、溶剤の拡散モデル、乾燥中のエネルギー収支、ラプラス力、熱処理による凝集力制御
◎乾燥速度と乾燥時間、および乾燥時の試料温度制御
◎代表的な乾燥装置の機構と性能
◎乾燥トラブルの原因・対策
◎塗膜のクラック、局所剥離のポッピング、高分子膜の表面硬化層、溶液との接触による環境応力亀裂（クレイズ）、ウォータマーク、乾燥むら、液体メニスカスの乾燥歪み

　◆付　着◆
◎付着の要因を直接測定し、さらなる高品位な付着性制御を！
◎ナノスケールの微小固体の付着・凝集および表面特性解析
◎微粒子の分散凝集解析
◎フォトレジストパターンの剥離　・微細パターン内に発生する熱応力
◎フォトレジスト膜中への溶液の浸透量の変化と接着挙動
◎異なる表面エネルギーを有する無機基板での接着
◎レジスト/基板界面でのボイド形成―ボイド形成ファクターとメカニズム

内容紹介